臭氧老化試驗箱中的臭氧是地球大氣中的微量氣體，由大氣中的氧分子在太陽輻射下分解成氧原子后與周圍的氧分子結合而成。臭氧非常不穩定，容易分解，不能作為一般產品儲存，需要在試驗過程中制作。臭氧產生的方法一般是以干燥空氣或干燥氧氣為原料，然后通過放電制作。另一種抽樣方法是電解，將水電解成氧，然后將自由氧變成臭氧。

       使用電解制造臭氧的主要優點是臭氧在處理過程中溶解，即臭氧可以用較少的設備處理。如果在壓力條件下，可以產生高濃度的臭氧。待消毒的水是用來產生臭氧的原料，因此系統外沒有其他污染，整個臭氧生產過程中也沒有離子污染。

       臭氧老化試驗箱的主要制臭氧技術有電解法、核輻射法、紫外線、等離子體和電暈放電法。臭氧發生器被廣泛放電，氧化空氣或純氧成臭氧。也就是說，利用高能交互式電流作用空氣中的氧氣，使氧分子電離成臭氧。

       在紫外線輻射下，雙原子氧可以通過電子輻射或暴露自然形成臭氧。在工業上，使用干燥的空氣或氧氣，通過交流電壓進行無聲放電。此外，臭氧可以在低溫下通過電解稀硫酸或加熱液體氧氣來產生。